研磨液檢測(cè)儀跟上時(shí)代的步伐

   研磨液檢測(cè)儀根據(jù)歐盟和國(guó)標(biāo)頒布鎳釋放標(biāo)準(zhǔn)制造，應(yīng)用范圍廣泛，配合六角型滾筒金屬樣品掛架磨料和磨漿，方便實(shí)驗(yàn)室人員使用，可通過(guò)電腦控制，提供穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速；可順時(shí)針或者逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。

   研磨液檢測(cè)儀數(shù)碼計(jì)算機(jī)控制，軟墊頭接觸式按鈕提供標(biāo)準(zhǔn)的時(shí)間及程序調(diào)教，全自動(dòng)設(shè)計(jì)，能于特定時(shí)間轉(zhuǎn)向，預(yù)設(shè)順逆各轉(zhuǎn)2.5小時(shí)，測(cè)試完成后鎳釋放儀器自動(dòng)停止。目前，研磨液檢測(cè)儀技術(shù)已經(jīng)發(fā)展成以化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)為主體，集在線檢測(cè)、終點(diǎn)檢測(cè)、清洗等技術(shù)于一體的CMP技術(shù)，是集成電路向微細(xì)化、多層化、薄型化、平坦化工藝發(fā)展的產(chǎn)物，同時(shí)也是晶圓由200mm向300mm乃至更大直徑過(guò)渡、提高生產(chǎn)率、降低制造成本、襯底全局平坦化所必需的工藝技術(shù)。

   研磨液檢測(cè)儀具有動(dòng)態(tài)粒徑范圍廣，檢測(cè)時(shí)間短及重現(xiàn)性高等特點(diǎn)，所以常用來(lái)檢測(cè)的粒徑分布特征，激光衍射儀的工作原理是基于不同性質(zhì)的兩個(gè)物理量，理論上講，對(duì)于特定粒徑的粒子，激光衍射會(huì)產(chǎn)生一個(gè)明暗相間的衍射環(huán)。研磨液檢測(cè)儀衍射環(huán)的位置及相鄰光環(huán)間的距離與粒子的粒徑成反比。但是對(duì)于粒徑小于2μm的粒子，衍射環(huán)就檢測(cè)不到，此時(shí)必須以另一種的方法，該方法描述了一個(gè)特定粒子由于各點(diǎn)散射光波的相互干涉導(dǎo)致的大角散射的改變，而這種散射角度的變化不僅取決于粒子粒徑與激光波長(zhǎng)，還與粒子的吸光性質(zhì)與折射率有關(guān)。

   研磨液檢測(cè)儀為用戶提供可方便、快捷、、可靠的粒徑分析，是一臺(tái)掃頻接收機(jī)，輸入信號(hào)與本地振蕩信號(hào)在混頻器變頻后，經(jīng)過(guò)一組并聯(lián)的不同中心頻率的帶通濾波器，使輸入信號(hào)顯示在一組帶通濾波器限定的頻率軸上。顯然，由于帶通濾波器由無(wú)源元件構(gòu)成，頻譜分析器整體上顯得很笨重，而且頻率分辨率不高。